国科精密具有超精密光学元件薄膜设计、制备与测试能力, 可提供紫外-红外波段的热蒸发与离子束溅射光学镀膜，可特别满足超精密光学元件（例如面形精度优于1nm）与紫外应用的镀膜需求。 

制造能力

Ø 普通元件：Φ500mm；

Ø 超精密光学元件（面形精度优于λ/30）/滤光片（复杂光谱指标需求）：Φ500mm；

Ø 特色产品：紫外/深紫外（115~350nm）滤光片/光学元件定制镀膜。

镀膜工艺及辅助设备

热蒸发/I[**]D（莱宝、光驰）、离子束溅射（Veeco）、大口径元件超声清洗机（Φ300）

膜系设计

Macleod、Optilayer、Filmstar等软件，可实现复杂膜系设计；自研膜厚均匀性分析软件，满足大口径曲面膜厚均匀性校正要求。

薄膜检测

Ø 光学指标：分光光度计（Cary7000、Lambda1050）、椭偏仪（V[**]SE、RC2 ）、激光量热仪；

Ø 表面质量检测：光学显微镜、白光干涉仪、原子力显微镜；

Ø 其它指标：X射线衍射仪、膜厚仪；

Ø 力学性能/环境适应性测试：薄膜应力仪、薄膜附着力检测、环境实验（高温、盐雾等）。