国科精密拥有高精度大口径Fizeau型干涉仪、白光干涉仪、原子力显微镜和配套的高精度温控（优于±0.02℃）检测实验室，可提供全频段（低频、中频、高频、超高频）深亚纳米精度平球面和非球面光学表面检测；同时也拥有Luphoscan非球面检测仪、轮廓仪、三坐标和[**]SI拼接干涉仪等高性能检测设备，可满足各种非球面、自由曲面等异形表面的非接触式和接触式三维光学扫描测量、子孔径拼接检测等检测需求。

检测指标

Ø 平球面

n 直接检测： 检测口径：平面<300mm，球面<500mm，  检测精度<0.15nm RMS

n 拼接检测： 检测口径<500mm，  检测精度<15nm RMS

Ø 非球面

n 直接检测：   检测口径<300mm，  检测精度<λ/6 PV

n CGH 和补偿镜（NULL Lens）：  检测口径<500mm， 检测精度<0.3nm RMS